Optisches Element und Belichtungseinrichtung

EP1670038 Art B1 6. Juni 2012

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1670038
Aktenzeichen
EP04772252
Anmeldetag
26. August 2004
Veröffentlichung
6. Juni 2012
Erteilung
6. Juni 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G03F7/20G02B7/02G02B13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Viering, Hans-Martin München, Deutschland
404
Patente gesamt
34
Fachgebiete
25
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik
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