Verfahren und Vorrichtung zur Verhinderung von Instabilitäten bei der Hochfrequenz-Plasmaverarbeitung
Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1671347
- Aktenzeichen
- EP04788912
- Anmeldetag
- 22. September 2004
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2015
- Erteilung
- 11. Februar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.