Stickoxid-Entfernungsprozess für Organosilikatglas
EP1671363
Art A1
21. Juni 2006
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1671363
- Aktenzeichen
- EP04794216
- Anmeldetag
- 5. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 21. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302H01L21/461
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Cefai, Robin
Paris, Frankreich
33
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5
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