Strahlgerät mit geladenen Teilchen, Verfahren zur Darstellung von Probenbildern und Verfahren zur Messung von Bildverschiebungsempfindlichkeit

EP1672672 Art A2 21. Juni 2006

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1672672
Aktenzeichen: EP05027647
Anmeldetag: 16. Dezember 2005
Veröffentlichung: 21. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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