Lithografische Vorrichtung mit mehrfachen Ausrichtungsanordnungen und Ausrichtungsmessverfahren

EP1674938 Art B1 1. Februar 2012

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1674938
Aktenzeichen
EP05112067
Anmeldetag
13. Dezember 2005
Veröffentlichung
1. Februar 2012
Erteilung
1. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen