Plasmaanregungssystem
EP1675155
Art B1
25. Januar 2012
Anmelder: HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG, ULVAC, INC., Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1675155
- Aktenzeichen
- EP04030764
- Anmeldetag
- 24. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 25. Januar 2012
- Erteilung
- 25. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG
ULVAC, INC.
Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
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