Kinematische Elektrodenanbringung für eine Ionenimplantierungsvorrichtung

EP1678735 Art A2 12. Juli 2006

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1678735
Aktenzeichen
EP04795599
Anmeldetag
15. Oktober 2004
Veröffentlichung
12. Juli 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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