Substratbehälter
EP1679997
Art A2
19. Juli 2006
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1679997
- Aktenzeichen
- EP04800823
- Anmeldetag
- 8. November 2004
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- A47G19/08H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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