Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung Topographischer Schwankungen auf einem Bearbeiteten Querschnitt einer Struktur
EP1685558
Art A2
2. August 2006
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1685558
- Aktenzeichen
- EP04811316
- Anmeldetag
- 17. November 2004
- Veröffentlichung
- 2. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G11B5/31
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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