Radikalerzeugungsverfahren Ätzverfahren und Vorrichtung zur Verwendung bei Diesem Verfahren

EP1687842 Art A1 9. August 2006

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1687842
Aktenzeichen: EP04799701
Anmeldetag: 9. November 2004
Veröffentlichung: 9. August 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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