Imprint-Lithographie

EP1688790 Art B1 20. Mai 2015

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1688790
Aktenzeichen
EP05257614
Anmeldetag
12. Dezember 2005
Veröffentlichung
20. Mai 2015
Erteilung
20. Mai 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00B82Y10/00B82Y40/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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