Broeken, Petrus Henricus Johannes
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Patente
88 gesamt| Patent | |||
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23.06.2021 · ASML Holding N.V.
Katadioptrisches System für die Scatterometrie
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Status
Angemeldet am 17.07.2008
Erteilt am 23.06.2021
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
Leeming, John Gerard · London
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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24.06.2020 · ASML Netherlands B.V.
Verfahren zur Messung eines Parameters eines Strukturierungsprozesses, Metrologievorrichtung, Ziel
EP3671346
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.12.2018
Anhängig
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
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17.06.2020 · ASML Netherlands B.V.
Verfahren zur Messung eines Parameters eines Lithografischen Verfahrens, Metrologievorrichtung
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Status
Angemeldet am 13.12.2018
Anhängig
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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06.05.2020 · ASML Netherlands B.V.
Verfahren zur Bestimmung eines Wertes eines Interessierenden Parameters eines Strukturierungsprozesses, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
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Status
Angemeldet am 31.10.2018
Anhängig
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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22.04.2020 · ASML Netherlands B.V.
Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion einer Struktur und Zugehörige Vorrichtungen
EP3640735
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.10.2018
Anhängig
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
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15.04.2020 · ASML Netherlands B.V.
Verfahren zur Kalibrierung einer Vielzahl von Metrologievorrichtungen, Verfahren zur Bestimmung eines Parameters von Interesse und Metrologievorrichtung
EP3637186
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.10.2018
Anhängig
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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19.02.2020 · ASML Netherlands B.V.
Verfahren und Metrologievorrichtung zur Bestimmung von Geschätzter Gestreuter Strahlungsintensität
EP3611568
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.08.2018
Anhängig
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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04.12.2019 · ASML Netherlands B.V.
Messvorrichtung und Verfahren zur Messung eines Ziels
EP3575875
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 31.05.2018
Anhängig
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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04.12.2019 · ASML Netherlands B.V.
Metrologieverfahren, Vorrichtung und Computerprogramm
EP3575874
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.05.2018
Anhängig
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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20.11.2019 · ASML Netherlands B.V.
Photonenquelle, Messgerät, Lithographisches System und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
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Status
Angemeldet am 23.05.2013
Erteilt am 20.11.2019
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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Vertretene Patentanmelder
Die Patentanmelder, die Broeken, Petrus Henricus Johannes in den erfassten Patenten am häufigsten vertritt.
| Anmelder | Anzahl Patente |
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| 1. ASML | 80 |
| 2. Philips | 1 |
Patente nach Jahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung: so viele Anmeldungen sind für das Jahr insgesamt zu erwarten.