Abtrennung von Mems-Opferlagen mittels Formulierungen auf Basis von Überkritischen Fluiden/chemikalien
EP1689825
Art A1
16. August 2006
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1689825
- Aktenzeichen
- EP04812516
- Anmeldetag
- 30. November 2004
- Veröffentlichung
- 16. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09K13/00C09K13/04H01L21/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
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Madrid, Spanien
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