Resist-, Bark- und Lückenfüllmaterial-Entfernungschemikalie und Verfahren

EP1690135 Art A2 16. August 2006

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1690135
Aktenzeichen
EP04812627
Anmeldetag
1. Dezember 2004
Veröffentlichung
16. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C11D1/00C11D11/00G03F7/42H01L21/02C11D7/50C11D3/30C11D7/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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