Herstellung von Metall-Siliziumnitridfilmen mittels zyklischer Abscheidung

EP1691400 Art B1 14. Januar 2009

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1691400
Aktenzeichen: EP06002371
Anmeldetag: 6. Februar 2006
Veröffentlichung: 14. Januar 2009
Erteilung: 14. Januar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285H01L21/768C23C16/34C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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