Verfahren zum Definieren einer Struktur auf einem Substrat

EP1691410 Art A3 30. September 2009

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1691410
Aktenzeichen: EP06003024
Anmeldetag: 15. Februar 2006
Veröffentlichung: 30. September 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/311H01L21/316H01L21/312G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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