Verdickungsmaterial für Resiststruktur und Verfahren zur Resiststrukturbildung sowie Halbleiterbauelement und Herstellungsverfahren dafür
EP1693709
Art A1
23. August 2006
Anmelder: FUJITSU LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1693709
- Aktenzeichen
- EP06001201
- Anmeldetag
- 20. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 23. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/40G11B5/31H01L27/115H01L21/3213H01L21/027H01L21/311G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJITSU LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujitsu
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Mitscherlich PartmbB
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Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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