Objektiv Verwendbar als Mikrolithographisches Projektionsobjektiv mit mindestens einer Flüssigkeitslinse
EP1700163
Art A1
13. September 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Singer, Dr., Wolfgang, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1700163
- Aktenzeichen
- EP04803844
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 13. September 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Singer, Dr., Wolfgang
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schultz, Jörg Martin
Oberkochen, Deutschland
22
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5
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte