Verfahren zur Herstellung Isolierter Mikro- und Nanostrukturen unter Verwendung von Soft- oder Druck-Lithographie

EP1704585 Art B1 15. März 2017

Anmelder: THE UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL, NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1704585
Aktenzeichen
EP04821787
Anmeldetag
20. Dezember 2004
Veröffentlichung
15. März 2017
Erteilung
15. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/302// G03F7/00A61K9/51
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
THE UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL
NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of North Carolina at Chapel Hill

US-amerikanische öffentliche Universität in North Carolina, eine der ältesten staatlichen Hochschulen der USA mit umfangreicher Forschung unter anderem in Medizin und Naturwissenschaften.

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🇺🇸 North Carolina State University

US-amerikanische öffentliche Universität in Raleigh mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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