Strahleninduziertes Verfahren zum selektiven Ätzen eines Material aus einem Quarzsubstrat
EP1710327
Art B1
18. Juli 2012
Anmelder: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, FEI COMPANY 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1710327
- Aktenzeichen
- EP06112344
- Anmeldetag
- 7. April 2006
- Veröffentlichung
- 18. Juli 2012
- Erteilung
- 18. Juli 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00H01J37/305C23F4/00C23F4/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne
Ecole Polytechnique Federale de Lausanne
FEI COMPANY - Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
882 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Heselberger, Johannes
München, Deutschland
2.106
Patente gesamt
31
Fachgebiete
12
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven