Projektionsobjektiv für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP1714192
Art A1
25. Oktober 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1714192
- Aktenzeichen
- EP04804317
- Anmeldetag
- 27. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 25. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
171
Patente gesamt
25
Fachgebiete
7
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Ostertag & Partner Patentanwälte mbB
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