Abbildung von Unteroberflächenformationen unter Verwendung eines Elektronenstrahls
EP1717841
Art A1
2. November 2006
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1717841
- Aktenzeichen
- EP06112148
- Anmeldetag
- 3. April 2006
- Veröffentlichung
- 2. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/304G01N23/225
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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Fachgebiete
4
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