Die Verwendung einer Decklackzusammensetzung in der Immersionslithographie
EP1720067
Art A1
8. November 2006
Anmelder: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1720067
- Aktenzeichen
- EP05727061
- Anmeldetag
- 22. März 2005
- Veröffentlichung
- 8. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/11H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
1.099 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Thul, Stephan
München, Deutschland
54
Patente gesamt
22
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB
Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München