Phasenschiebermaskenrohling, Phasenschiebermaske und Herstellungsverfahren dafür
EP1722271
Art B1
24. Juni 2015
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1722271
- Aktenzeichen
- EP06009329
- Anmeldetag
- 5. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2015
- Erteilung
- 24. Juni 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/32G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Fachgebiete
Kanzlei
Bardehle Pagenberg
Paris, Frankreich
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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