Ablenksignal-Kompensation für ein Strahl von geladenen Teilchen

EP1722398 Art B1 25. November 2009

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1722398
Aktenzeichen
EP06113787
Anmeldetag
11. Mai 2006
Veröffentlichung
25. November 2009
Erteilung
25. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/302H01J37/147
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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