Magnetisch Verbesserte, Induktiv Gekoppelte Plasmaquelle für ein Fokussiertes Ionenstrahlsystem
EP1725697
Art A2
29. November 2006
Anmelder: FEI COMPANY, AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1725697
- Aktenzeichen
- EP05713954
- Anmeldetag
- 18. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 29. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J49/10H01J27/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven