Verfahren zur Herstellung Reflektierender Optischer Elemente, Reflektierende Optische Elemente, Euv-Lithographievorrichtungen und -Verfahren zum Betreiben von Optischen Elementen und Euv-Lithographievorrichtungen, Verfahren zur Bestimmung der Phasenverschiebung, Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke und Vorrichtungen zum Ausführen
EP1730597
Art A2
13. Dezember 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1730597
- Aktenzeichen
- EP05729571
- Anmeldetag
- 4. März 2005
- Veröffentlichung
- 13. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01M11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Schultz, Jörg Martin
Oberkochen, Deutschland
22
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte