Verfahren zur Herstellung Reflektierender Optischer Elemente, Reflektierende Optische Elemente, Euv-Lithographievorrichtungen und -Verfahren zum Betreiben von Optischen Elementen und Euv-Lithographievorrichtungen, Verfahren zur Bestimmung der Phasenverschiebung, Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke und Vorrichtungen zum Ausführen
EP1730597
Art A2
13. Dezember 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1730597
- Aktenzeichen
- EP05729571
- Anmeldetag
- 4. März 2005
- Veröffentlichung
- 13. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01M11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Schultz, Jörg Martin
Oberkochen, Deutschland
22
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte