Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Proben

EP1732102 Art B1 28. August 2013

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1732102
Aktenzeichen
EP06252156
Anmeldetag
21. April 2006
Veröffentlichung
28. August 2013
Erteilung
28. August 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/304H01J37/305G01N1/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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