Verbesserte Entfernung von Siliciumhaltigem Material unter Verwendung von Zusammensetzungen auf Basis Überkritischer Fluide
EP1735425
Art A2
27. Dezember 2006
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1735425
- Aktenzeichen
- EP05723901
- Anmeldetag
- 25. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 27. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C11D3/44C23G1/00B08B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
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