Adhäsion einer Metallschicht an ein Substrat und Verwandte Strukturen

EP1735824 Art A2 27. Dezember 2006

Anmelder: University of Massachusetts 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1735824
Aktenzeichen: EP05778199
Anmeldetag: 13. April 2005
Veröffentlichung: 27. Dezember 2006
Rechtsraum: EP
IPC: B05D3/04B05D1/36H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Massachusetts
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Massachusetts

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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