Waferbehältertür mit Partikelsammelstruktur
EP1737761
Art A2
3. Januar 2007
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1737761
- Aktenzeichen
- EP05736425
- Anmeldetag
- 18. April 2005
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65D45/16B65D85/00B65D85/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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