Material zur Bildung eines Resistschutzfilms für das Eintauchbelichtungsverfahren und Verfahren zur Bildung eines Resistmusters unter Verwendung des Schutzfilms

EP1741730 Art B1 12. Mai 2010

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1741730
Aktenzeichen: EP05734725
Anmeldetag: 25. April 2005
Veröffentlichung: 12. Mai 2010
Erteilung: 12. Mai 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C08F20/10C08F22/00C08F36/16G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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