Radikalinitiator für die Reinigung eines Kammers mittels einer entfernten Plasmaquelle

EP1741803 Art A2 10. Januar 2007

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1741803
Aktenzeichen: EP06014078
Anmeldetag: 6. Juli 2006
Veröffentlichung: 10. Januar 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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