Verfahren zur dreidimensionalen Vermessung der Oberflächenrauhigkeit einer Struktur
EP1746386
Art A3
1. August 2007
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1746386
- Aktenzeichen
- EP06117358
- Anmeldetag
- 18. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 1. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B21/30G01N23/22H01L21/66G01B15/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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