Vertikalwärmebehandlungseinrichtung und Verfahren zum Übertragen von zu Behandelnden Objekten
EP1752725
Art B1
27. April 2011
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1752725
- Aktenzeichen
- EP05726958
- Anmeldetag
- 25. März 2005
- Veröffentlichung
- 27. April 2011
- Erteilung
- 27. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F27B5/12B65G49/07F27B5/13F27D3/12H01L21/22H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
39.124
Patente gesamt
25
Patentanwälte
2
Standorte