Optische Baugruppenstruktur mit einem Verbindungskörper mit Mitteln zur Kompensation der Thermischen Aussendung

EP1756641 Art A1 28. Februar 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1756641
Aktenzeichen: EP04764366
Anmeldetag: 22. August 2004
Veröffentlichung: 28. Februar 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/00G01B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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