Logarithmischer Phasen-Amplitudendetektor

EP1761113 Art A3 24. September 2008

Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1761113
Aktenzeichen
EP06254570
Anmeldetag
1. September 2006
Veröffentlichung
24. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/46H03H7/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Kanzlei
Mathys & Squire München, Deutschland

Mathys & Squire wurde 1910 gegründet und blickt auf über ein Jahrhundert Erfahrung zurück, mit zahlreichen britischen Standorten sowie Luxemburg, München und Paris und Teams in China und Japan, beraten auch auf Deutsch und Chinesisch.

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