Polierzusammensetzung und Polierverfahren

EP1770136 Art A3 8. April 2009

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1770136
Aktenzeichen: EP06121549
Anmeldetag: 29. September 2006
Veröffentlichung: 8. April 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIMI INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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