Polierverfahren, Polierzusammensetzung und Kit für die Polierzusammensetzung

EP1770768 Art A3 2. Juli 2008

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1770768
Aktenzeichen
EP06121519
Anmeldetag
29. September 2006
Veröffentlichung
2. Juli 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321C09G1/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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