Verfahren zur Bestimmung von Linsenfehlern in einem teilchenoptischen Apparat
EP1772894
Art A3
17. Dezember 2008
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1772894
- Aktenzeichen
- EP06119848
- Anmeldetag
- 31. August 2006
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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