Euv-Lichtquelle, Euv-Belichtungsanlage und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung

EP1775756 Art B1 21. September 2011

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1775756
Aktenzeichen: EP05755689
Anmeldetag: 22. Juni 2005
Veröffentlichung: 21. September 2011
Erteilung: 21. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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