Verfahren zur Herstellung von Fotomasken-Rohlingen

EP1777588 Art B1 29. Juni 2011

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1777588
Aktenzeichen
EP06022233
Anmeldetag
24. Oktober 2006
Veröffentlichung
29. Juni 2011
Erteilung
29. Juni 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00G03F1/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Kanzlei
Bardehle Pagenberg Paris, Frankreich

Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.

11.218
Patente gesamt
5
Patentanwälte
2
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