Rasterelektronenmikroskop

EP1777729 Art B1 9. November 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1777729
Aktenzeichen: EP05770592
Anmeldetag: 10. August 2005
Veröffentlichung: 9. November 2011
Erteilung: 9. November 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/02H01J37/20H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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