Verfahren zum Trimmen und Glätten von Wellenleiterstrukturen mit Hohem Indexkontrast

EP1779163 Art A1 2. Mai 2007

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1779163
Aktenzeichen: EP05771539
Anmeldetag: 19. August 2005
Veröffentlichung: 2. Mai 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/122G02B6/136G02B6/14H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology and Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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