Halbleiter-Bearbeitungsverfahren mit Virtuellen Modulen
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, International Business Machines Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1782139
- Aktenzeichen
- EP05768604
- Anmeldetag
- 30. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 17. November 2010
- Erteilung
- 17. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/418H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
International Business Machines Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
12.044 Patente in unserer Datenbank
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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Andréasson, Ivar
NoneHagfors