Interposer und Verfahren zur Herstellung eines Interposers

EP1783832 Art A1 9. Mai 2007

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1783832
Aktenzeichen
EP05765494
Anmeldetag
5. Juli 2005
Veröffentlichung
9. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L23/498H01L21/48
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Electron Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

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