Plasma-Filmerzeugungsverfahren und Vorrichtung dafür
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Taiyo Nippon Sanso Corporation, Ohmi, Tadahiro, OHMI, Tadahiro 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1786029
- Aktenzeichen
- EP05780931
- Anmeldetag
- 25. August 2005
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31C23C16/44H01L21/314// B01D53/26H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Taiyo Nippon Sanso Corporation
Ohmi, Tadahiro
OHMI, Tadahiro - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253 Patente in unserer Datenbank
Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.
325 Patente in unserer Datenbank
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.