Oberflächenuntersuchungsvorrichtung und -Verfahren

EP1793221 Art A3 17. Dezember 2008

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1793221
Aktenzeichen: EP07004821
Anmeldetag: 3. November 2003
Veröffentlichung: 17. Dezember 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/88G01B11/30G01B15/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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