Elektrostatische Linse zur Korrektur der Sphärischen Aberration, Eingangslinse, Elektronenspektroskopieeinrichtung, Fotoelektronen-Mikroskop und Messsystem
EP1793410
Art B1
13. Juni 2012
Anmelder: National University Corporation Nara Institute of Science and Technology, JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1793410
- Aktenzeichen
- EP04822204
- Anmeldetag
- 9. November 2004
- Veröffentlichung
- 13. Juni 2012
- Erteilung
- 13. Juni 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J49/48H01J49/06G01N23/227H01J37/12H01J37/244H01J37/285
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National University Corporation Nara Institute of Science and Technology
JEOL LTD.
JEOL Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
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