Verfahren und Vorrichtung zur Mehrvariablen-Steuerung von Halbleiter-Herstellungsprozessen
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1794659
- Aktenzeichen
- EP05794940
- Anmeldetag
- 16. September 2005
- Veröffentlichung
- 13. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/418
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.